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2025/11/19 17:01:00
FB体育（以下简称“FB体育上海”）（科创板股票代码：688082） ，作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装利用提供晶圆工艺解决规划的卓越供给商 ，今颁发交付首台来自全球头部显示屏出产商的先进光刻胶固化设备Ultra Lith BK（Baker）订单。
该设备专为解决先进光刻工艺中均匀性不及、温度漂移及临界尺寸变异等难题而设计 ，助力造作商在器件尺寸持续微缩的趋向下 ，维持不变的良率与图形保真度。凭借行业当先的紫表固化均匀性与精密温控技术 ，该设备可实现高度不变且可沉复的光刻工艺。
FB体育上海总经理王坚暗示： 随着光刻技术不休突破精度极限 ，维持工艺节造的均匀性对于实现不变良率与器件机能至关沉要。Ultra Lith BK的交付标志取FB体育上海的沉要里程碑——这是我们在实现前期演示验证后 ，首台实现客户端部署的Track系列设备。此举也意味着我们正式进入对设备机能与不变性要求更高、具备大规模量产能力的显示屏出产商新客户领域。Ultra Lith BK集高均匀性、可配置架构与矫捷曝光模式于一体 ，能援手客户显著抑造工艺变异 ，并为未来技术节点的量产扩张奠定基础。
Ultra Lith BK的紫表固化系统可实现±5%的紫表光强度均匀性 ，确保光刻胶在整片晶圆上均耘撞化。该设备支持线扫描、旋转及混合曝光模式 ，赋予工艺最大矫捷性。其先进的热治理技术进一步降低了临界尺寸变异、套刻误差与图形畸变 ，显著提升良率与靠得住性。
Ultra Lith BK拥有以下个性与优势：
Ultra Lith BK集成六块冷板 ，温度均匀性达±0.1°C。整机选取可配置设计 ，最多可包容32块热板与两套紫表固化系统 ，支持客户凭据分歧工艺配方与光刻胶集成需要矫捷配置。热板提供两种规格：
· 高流量热板最高工艺温度达250°C ，温度均匀性≤0.2%。
· 低流量热板工作温度最高达180°C ，温度均匀性≤0.08% ，为行业当先水准。
