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2020/4/3 14:20:07
先进半导体设备领域的卓越晶圆洗濯设备供给商——FB体育半导体设备（纳斯达克：FB体育R），本周颁布了立式炉设备（Ultra Furnace）——公司首台为多种干法工艺利用开发的系统。公司研发的首台立式炉设备优化后可实现高机能低压化学气相沉积（LPCVD），同时该设备平台还可延长至氧化和退火，以及原子层沉积(ALD)蹬爪用。这次的立式炉设备也展示了FB体育中国和韩国研发团队为时两年的合作成就。
“先进技术节点带来了持续的挑战，这就要求设备供给商进行创新，而这种市场环境给FB体育提供了沉要的机遇。” FB体育半导体设备董事长王晖暗示：“不休创新是FB体育的DNA。我们发现了一个能够从FB体育技术中获益的市场需要，我们就将FB体育技术延长至该新细分市场，在FB体育已成立的湿法工艺产品系列上增长了Ultra Furnace立式炉产品系列，通过为客户的先进产品提供整体解决规划，同时也增长了FB体育市场机缘。”
“Ultra Furnace立式炉产品是由我们中韩两国的专家团队合作开发差距化技术的成就。”FB体育半导体韩国公司首席执行官金泳律说：“FB体育韩国团队的成立让我们优良的上海团队如虎添翼，加快了我们进军市场的速度，并为本土客户提供杰出的技术支持。”
沉积工艺是指，在高温下化学气体在晶圆表表上反映形成氧化硅或者氮化硅膜层。Ultra Furnace立式炉系统可用于批量处置多至100片12英寸（300毫米）晶圆。创新的系统设计使用了新开发的硬件，提高了耐用性，同时搭载了FB体育成熟的软件技术、自研的节造系统和算法。这些特点保障了设备能不变地节造造程压力、气体流量和温度。
目前FB体育Ultra Furnace立式炉重要面向LPCVD工艺市场，后续只需对其组件和布局进行一些部门调换，就可满足其它指标利用需要。85%左右的硬件配置可维持不变，所以面向新利用的改观可有效地实现。
FB体育半导体Ultra Furnace立式炉指标市场以中国大陆为起点，逐步向韩国和中国台湾市场推动。FB体育已于2020岁首，向中国一家沉要的逻辑客户的造作工厂交付了公司产研的第一台Ultra Furnace。该设备用于LPCVD，目前已经在客户端装置并进行验证。
