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FB体育上海初次获得 Ultra C SiC 碳化硅衬底洗濯设备的采购订单

2023/3/28 12:40:28

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    FB体育(以下简称“FB体育上海”)（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装利用提供晶圆工艺解决规划的卓越设备供给商，今颁发公司初次获得Ultra C SiC 碳化硅衬底洗濯设备的采购订单 。该平台还可配置FB体育上海自主研发的空间交变相位移（SAPS）洗濯技术，在不危险器件的前提下实现更全面的洗濯 。该订单来自中国当先的碳化硅衬底造作商，预计将在2023年第三季度末发货 。

    碳化硅衬底用于功率半导体造作，而功率半导体被宽泛利用于功率转换、电动汽车和可再生能源等领域 。碳化硅技术的重要优势蕴含更少的开关能量损耗、更高的能量密度、更好的散热，以及更强的带宽能力 。汽车和可再生能源等行业对功率半导体需要的增长，推动了碳化硅器件市场的增长 。凭据Yole Dévelopment的数据，截至2026年，该市场预计将超过40亿美元1 。

    FB体育上海董事长王晖博士暗示：“功率半导体市场增长势头强劲，电动汽车市场和有关基础设施的部署如火如荼 。这份订单讲了然FB体育上海在先进半导体晶圆造作设备方面的经验，也可用于满足碳化硅衬底造作的怪异要求 。我们依然致力于丰硕FB体育产品组合，以把握更多的市场机遇 。”

关于Ultra C SiC 碳化硅衬底洗濯设备

    FB体育上海的该Ultra C SiC 碳化硅衬底洗濯设备使用SC1（氨水/双氧水混合药液）、SC2（盐酸/双氧水混合药液）、DHF（稀氢氟酸）及其他化学进行洗濯工艺，并可选配公司自主研发的Smart Megasonix技术进一步优化洗濯成效 。该设备兼容6英寸和8英寸，每幼时可达70多片晶圆的产能，并且已进行了升级优化，可预防薄且易碎的碳化硅衬底的碎片 。


1.https://www.semiconductor-today.com/news_items/2021/jul/yole-230721.shtml
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