ËêÊ×£¬FBÌåÓý°ëµ¼ÌåÑÇÌ«Ôì×÷ÖÐÐÄÓÀ´ÁËÒ»ÅúÌØÊâµÄ·Ã¿Í——ÓÉÍõ衽ÌÊÚ´ø¶ÓµÄÇ廪´óѧδÑëÊéÔººÍΪÏÈÊéÔºÍŶӡ£

µ±ÈÕÉÏÎ磬Ç廪´óѧδÑëÊéÔººÍΪÏÈÊéÔºÍŶÓ&FBÌåÓý¼¼Êõ»¥»»¼°FBÌåÓýÑÇÌ«Ôì×÷ÖÐÐIJι۵÷²é»î¶¯ÕýʽÆðÍ·¡£ÔÚ½éÉÜ»¥»»»·½Ú£¬×ÊÉÒÕ×ܼࡢ¹¤ÒÕ¸±¾Àí¡¢¹¤ÒÕ¾Àí±ðÀë¾Íʪ·¨Wet²úÆ·¡¢µç¶ÆECP²úÆ·¡¢Â¯¹ÜFurance²úÆ·¡¢»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ýPECVD²úÆ·¡¢Í¿½ºÏÔÓ°TrackÒ»Ìå²úÆ·µÈ×÷Á˾ßÌå½éÉÜ¡£Í¬Ñ§ÃǶÔFBÌåÓýÉϺ£µÄÖØÒª²úÆ·¡¢Ö÷Ìâ¼¼Êõ£¬ÒÔ¼°¹«Ë¾²¼¾ÖºÍÕ½Êõ¹æ»®µÅ×ÐÁ˸üÉîµÄÏàʶºÍÈÏÖª¡£
ÔÚÔì×÷²¿²âÊÔ×ÊÉî¾ÀíµÄЯ´øÏ£¬Í¬Ñ§ÃÇÀ´µ½Ôì×÷×Ü×°ºÍ²âÊÔ³µ¼ä£¬ÊµµØ²Î¹Û½ø½¨ÁËÏ´åªÉ豸¡¢µç¶ÆÉ豸¡¢Â¯¹ÜÉ豸¡¢PECVDÉ豸¡¢TrackÉ豸µÈ¸÷ÀàÉ豸µÄ×é×°Óë²âÊÔÁ÷³Ì¡£Í¨¹ý²Î¹Û×ßÀÈ£¬Í¬Ñ§ÃÇ»¹¹ÛĦÁËÄ£¿éµÄÕû¸ö×é×°¹ý³Ì¡£
ÔڲιۻʵÏÖºó£¬Í¬Ñ§ÃÇ»ý¼«ÌáÎÊ£¬Ìá³öÁ˹ØÓÚÕ×Éùϴ媼¼ÊõSAPSµÄµÀÀíºÍÀûÓó¡¾°¡¢ÈôºÎ½ÚÔìPECVD³Á»ý¹ý³ÌÖУ¬·ÖÆçµØÎ»µÄ¹èƬƬ¼ä¾ùÔÈÐÔ£¬ÒÔ¼°É豸³ö³§Ç°¸÷Ö°ÄÜÄ£¿éµÄ²âÊÔ·½Ê½µÈÎÊÌâ¡£¹¤ÒÕ¸±¾Àí¡¢¹¤ÒÕ¾ÀíºÍÔì×÷²¿²âÊÔ×ÊÉî¾Àí±ðÀë¶ÔÕâЩÎÊÌâ½øÐÐÁËÄÍÐÄÏêϸµÄ½â´ð¡£


½áÓ
Õâ´Î»î¶¯ÈÃÔÚУÉúÉî¿Ì̽Çó°ëµ¼ÌåÔì×÷ÁìÓò£¬¸üºÃµØÀí½âÏÖʵ³ö²ú»·¾³£¬ÍƽøÀíÂÛÓëʵ¼ÊµÄ½áºÏ£¬Í¬Ê±Òý·¢Ñ§ÉúµÄ½ø½¨ÐËÖ²¢Ç¿»¯Ö°Òµ¹æ»®Òâʶ¡£ÊµµØ²Î¹ÛÆóÒµµÄ·½Ê½£¬Ê¹Ñ§ÉúÏàʶµ½ÆóÒµµÄÉç»áÔðÈκÍְҵ·µÂ¹æ·¶£¬½ø¶øÔ½·¢Éî¿ÌµØÒâʶµ½×÷ΪδÀ´Ö°ÒµÈ˵ÄÉç»áÔðÈκÍʹÃü¸Ð¡£
Ôڲι۽ø½¨ÖУ¬ÆóÒµÓëѧÌóÉÁ¢¿ÉÄÜÔ½·¢çÇÃܵÄÁªÏµ£¬¹²Í¬Ì½ÇóÈ˲ÅÔì¾Í¡¢¿Î³ÌÉèÖá¢Êµ¼Ê½²Êڵȷ½ÃæµÄºÏ×÷¡£ÕâÒ²ÓÐÖúÓÚѧÌøüºÃµØÏàʶÊг¡ÐèÒª£¬ÓÅ»¯½²ÊÚ´òË㣬ͬʱҲÓÐÀûÓÚÆóÒµÎüÄÉÓÅÁ¼È˲ţ¬ÌáÉý¾ºÕùÁ¦¡£
FBÌåÓýÉϺ£¶Ê³¤ÍõêͲ©Ê¿1978Ä꿼ÈëÇ廪´óѧ¾«ÃÜÒÇÆ÷ϵ¡£×÷ΪÇ廪´óѧ±ÏÒµµÄУÓÑ£¬ÍõêͲ©Ê¿Éî֪ĸУÔÚÈ˲ÅÔì¾ÍºÍÉç»áÔðÈη½ÃæµÄµ£ÈΣ¬Ò²ÉîÖªÇàÄêѧ×Ó¶ÔÓÚ¹ú¶ÈδÀ´·¢Õ¹µÄ³ÁÒªÐÔ¡£ËûÏàÐÅ£¬Í¨¹ý¹²Í¬Ì½ÇóÈ˲ÅÔì¾Í¡¢¿Î³ÌÉèÖá¢Êµ¼Ê½²Êڵȷ½ÃæµÄºÏ×÷£¬Äܹ»ÊµÏÔìóÒµÓëѧÌÃÖ®¼äµÄ»¥Àû¹²Ó®£¬¹²Í¬Íƶ¯°ëµ¼Ìå²úÒµµÄ´´Ðºͷ¢Õ¹¡£ËûÒ²µÈ´ýδÀ´¿ÉÄÜÓиü¶àµÄ»úÓöÓëĸУºÏ×÷£¬¹²Í¬ÎªÔì¾Í¸ü¶àÓÅÁ¼µÄ°ëµ¼Ìå²úÒµÈ˲ŶøÖÂÁ¦¡£
Õâ´ÎÇ廪´óѧѧ×Ó̽·ÃFBÌåÓýÑÇÌ«Ôì×÷ÖÐÐIJι۵÷²é»î¶¯Ò²ÊÇÒ»´ÎÒý·¢´´ÐÂ˼ÏëµÄË÷ÇóÖ®Âã¬ÈÃÐÂʱÆÚµÄÇàÄêÃÇÒâʶµ½“´´Ð”ÔÚ°ëµ¼Ìå²úÒµÖеĹؼü×÷Óᣵȴýѧ×ÓÃǽ«Õâ´Î»î¶¯µÄÊÕ³Éת»¯Îª¿ÆÑж¯Á¦£¬²ûÑï°ëµ¼ÌåÁìÓòµÄ¸ü´óDZÁ¦£¬ÎªÎÒ¹ú¿Æ¼¼ÊÂÒµ¹±Ï×Á¦Á¿¡£