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2024/9/26 10:23:07
FB体育（以下简称“FB体育上海”）（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装利用提供晶圆工艺解决规划的卓越供给商，于今日推出用于扇出型面板级封装（FOPLP）利用的新型Ultra C bev-p面板边缘刻蚀设备。
该设备专为铜有关工艺中的边缘刻蚀和洗濯而设计，可能同时处置面板的正面和背面的边缘刻蚀，显著提升了工艺效能和产品靠得住性。
FB体育上海董事长王晖博士暗示：“我们以为扇出型面板级封装的职位日益凸显，原因在于该项技术可能满足现代电子利用不休发展的需要，在集成密度、成本效能和设计矫捷性方面拥有优势。得益于在湿法工艺方面的深厚技术专长，FB体育上海新型Ultra C bev-p设备机能卓越，属于首批可用于面板级利用的双面边缘刻蚀设备。我们等待Ultra C bev-p与今年推出的Ultra ECP ap-p面板级水平式电镀设备和Ultra C vac-p负压洗濯设备共同推动拥有高精度个性的大型面板先进封装行业进取以及扇出型面板级封装技术市场发展。”
Ultra C bev-p设备选取专为边缘刻蚀和铜残留断根而设计的湿法刻蚀工艺，在扇出型面板级封装技术中起到至关沉要的作用。该工艺对于有效预防电气短路、最大限度降低传染风险、维持后续工艺步骤的齐全性至关沉要，有助于确保器件经久耐用。该设备的高效性重要得益于FB体育上海的专利技术，以应对方形面板衬底所带来的怪异挑战。
与传统的圆形晶圆分歧，FB体育上海的怪异设计能够实现精确的去边工艺，确保在翘曲面板的加工过程仅限于边缘区域。这一专利技术对于维持刻蚀工艺的齐全性以及提供先进半导体技术所需的高机能和靠得住性至关沉要。
Ultra C bev-p 专为面板衬底而设计，可与有机面板、玻璃面板和粘合面板兼容。Ultra C bev-p能有效治理面板的正面和背面，合用尺寸由510mm x 515mm至600mm x 600mm不等，厚度在0.5mm至3mm之间。该设备可处置最大10mm的翘曲，确保最佳工艺前提。
· 高技板处置：Ultra C bev-p建设自动操作装置，确保搬运和传送面板过程的安全性和精确性。
· 高效除铜：Ultra C bev-p选取稀硫酸和过氧化物（DSP）（即：去离子水、硫酸和过氧化氢的组合），可有效去除铜。此表，该设备选取去离子水进行洗濯，并利用N2进行最终干燥，确保表表清洁干燥。
· 高产能：Ultra C bev-p可能运行多达六个腔体，每幼时可处置40个面板 (PPH)，高效实现大规模量产。
该系统的边缘节造精度为±0.2mm，节造领域为0-20mm。均匀故障距离功夫（MTBF）为500幼时，正常运行功夫达95%，可能提供卓越的靠得住性、不变的机能和高运行效能。
