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2025/7/25 8:01:00
FB体育（以下简称“FB体育上海”）（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装利用提供晶圆工艺解决规划的卓越供给商，今日颁发对其Ultra C wb湿法洗濯设备进行了沉大升级。这次全新升级旨在满足先进节点造作工艺的刻薄技术要求。
升级后的Ultra C wb选取了专利申请中的氮气（N2）鼓泡技术，有效解决了湿法刻蚀均匀性差和副产品二次沉积问题。在先进节点造作工艺中，这些问题常见于深邃宽比沟槽和通孔结构的传统湿法洗濯工艺。氮气鼓泡技术不只提升了化学药液传输效能，并且提高了湿法刻蚀槽内温度、浓度和流速的均匀性。湿法刻蚀过程中质量传递效能的提高可预防副产品在晶圆微结构内积累，从而预防二次沉积。这项技术在500层以上的3D NAND，3D DRAM，3D 逻辑器件中有巨大的利用远景。
FB体育上海总经理王坚暗示：
机能提升始终是首要的钻营，通过专利申请中的集成氮气鼓泡技术，FB体育提升了Ultra C wb设备的工艺机能。批式处置工艺始终是湿法加工领域的关键环节，与单晶圆湿法洗濯相比，其在成本效益、出产效能及化学品亏损方面拥有显著优势。
升级后的Ultra C wb设备拥有以下全新个性与优势：
