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2021/3/23 12:31:57
作为半导体造作与先进晶圆级封装领域中的卓越设备供给商，FB体育半导体设备今日颁发，为其不休发展的300mm Ultra Fn立式炉干法工艺设备产品系列，增长了以下半导体造作工艺：非掺杂的多晶硅沉积、掺杂的多晶硅沉积、栅极氧化物沉积、高温氧化和高温退火。FB体育将于3月17日至19日在上海新国际博览中心进行的SEMICON China 2021的3659号展位上展示这些技术。
FB体育先前已颁布了利用于氧化物、氮化硅（SiN）低压化学气相沉积（LPCVD）和合金退火工艺职能的立式炉系统，基于该可配置的立式炉平台，FB体育开发了上述新职能。支持这些新利用的立式炉设备现已交付或预计陆续于2021年上半年内交付到客户端。
“FB体育战术始终是找到半导体造作行业中拥有高增长潜力的市场和利用，并且与FB体育客户合作，开发出先进技术来解决这些问题。”FB体育半导体设备董事长王晖暗示：“此刻，我们可能进行80％以上的批式热工艺，蕴含用于SiN，HTO的LPCVD工艺，非掺杂多晶硅和掺杂多晶硅沉积，栅极氧化物沉积工艺，高达1200摄氏度的超高温氧化和退火工艺。 这一新产品线的迅速导入，也进一步证了然我们与主题客户合作战术的成功。"
随着半导体器件体积的不休缩幼和复杂度的增长，Ultra Fn系统的设计始终是为了追求满足客户需要的更佳解决规划。当今的器件设计的高复杂度、微幼几何尺寸，对热工艺的温度节造的均一性与不变性提出了高要求，这对晶圆良率至关沉要。为了满足这些要求，Ultra Fn加热器开发了节造算法，使该平台拥有不变的温度节造机能。
FB体育对其可矫捷配置的Ultra Fn设备进行了职能扩大，仅对部门�？楹筒季纸辛艘恍└募纯珊嫌糜谡庑┬鹿ひ绽�。该可配置的系统设计，与FB体育现有的氧化物、氮化物沉积系统大部门硬件可通用，从而降低了总成本。 该系统可便捷地更换组件，以实现分歧客户的定造化工艺需要。
FB体育的第一台SiN LPCVD已于2020岁首交付给一家沉要的逻辑造作客户，并在该工厂进行了大规模量产验证。 同时，另一台微托级超高真空职能的合金退火工艺立式炉设备已于2020年底交付给一家功率器件造作客户，并已实现出产能力的验证。而这次颁布的其他新职能的设备也陆续起头在客户端进行测试，预计在2021年内获得验证了局。
