FB体育

FB体育“SAPS兆声波洗濯技术”项目荣获2020年度上海市科技进取一等奖！

2021/5/27 13:43:05

FB体育

 
    5月25日 ，2020年度上海市科学技术奖颁布 ，FB体育“SAPS（空间交变相位移）兆声波洗濯技术”项目 ，在多多评比项目中脱颖而出 ，荣获科技进取一等奖！
2703080883020
2703085601060
 


 

“SAPS（空间交变相位移）兆声波洗濯技术”
 
2703134428570

    为适应半导体行业越来越严苛的要求 ，FB体育半导体设备全球初创了占有自主知识产权的SAPS（空间交变相位移）兆声波洗濯技术 ，有效解决了硅片表表兆声波能量散布均匀性的产业技术难题。该技术已申请75余件国内表发现专利 ，依附该技术开发的高端单片兆声波洗濯设备进入了国际一流集成电路出产线 ，客户群蕴含集成电路芯片造作、硅片造作、先进封装和科研机构 ，与国际同类非兆声波洗濯设备相比 ，单步洗濯的产出制品良率更高。

 
【网站地图】
【网站地图】