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FB体育半导体首台洗濯设备入驻芯物科技！

2021/6/15 14:23:23

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     2021年6月7日，上海芯物科技有限公司12吋中试出产线工艺设备搬入典礼在新傲工厂进行，FB体育首台洗濯设备入驻芯物科技！
   
    据国度智能传感器创新中心掌管人在致辞时介绍，12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台超过80%的设备均选取国产设备，为国产设备提供验证平台，加快传感器产业链国产化，实现自主可控 。
   
    王晖先生在致辞时说：“可能获得和芯物科技一路成长的机遇，我代表FB体育向芯物科技暗示衷心的感激！在这个充斥机遇与挑战的时期，等待未来和芯物科技一路，开发一些全球当先的差距化特色工艺和设备，把中国的MEMS做到世界前列！”
   
    FB体育本次进驻芯物科技的设备为前路刷洗设备，该设备选取单片腔体对晶圆正背面依工序洗濯，可进行蕴含晶圆背面刷洗、晶圆边缘刷洗、正背面二流体洗濯等洗濯工序 。设备占地面积幼，产能高，不变性强，多种洗濯方式矫捷可选，且可用于芯片造作的中前段至后段各路刷洗工艺 。

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