“FB体育的单片SPM设备是在FB体育的Ultra C Tahoe设备基础上而开发。FB体育Tahoe设备的优越机能已得到验证，可解决大部门通例温度的SPM工艺步骤。”FB体育半导体设备董事长王晖暗示：“我们开发的单片SPM设备，对Tahoe设备已被验证的工艺能力做了进一步补充，增长了高温SPM工艺能力，也进一步丰硕了FB体育湿法产品系列。我们以成为全球重要的洗濯解决规划供给商为指标，会持续开发新的工艺能力，蕴含先进的高温IPA干燥技术和超临界二氧化碳干燥技术。”
目前大部门SPM湿法工艺中硫酸与双氧水混合后的工艺温度在145摄氏度以下，被宽泛利用于光刻胶去除，刻蚀后、通例剂量离子注入后、化学机械抛光（CMP）后的洗濯工艺。FB体育的Ultra C Tahoe系统已于2018年颁布，将槽式硫酸与单片洗濯整合在一套系统中，针对处置上述这些工艺，其优越的机能已获得了业界的认可，在得到更好的洗濯成效的同时，由于大幅削减了硫酸的用量，成本也得以大幅降低。
