FB体育(以下简称FB体育上海)（科创板股票代码：688082），一家为半导体前路和先进晶圆级封装（WLP）利用提供晶圆工艺解决规划的卓越设备供给商，于今日颁发其已接到29台Ultra C wb槽式湿法洗濯设备的批量采购订单，该设备可利用于加工300mm晶圆，其中16台设备的沉复订单来自统一家中国国内代工厂，沉复订单的主张是支持该工厂的扩产 。这批设备打算从2022年起头分两个阶段发货 。
Ultra C wb槽式湿法洗濯设备的重要洗濯利用蕴含炉管前洗濯、RCA洗濯、光阻去除、氧化层刻蚀、氮化硅去除，以及晶圆回收工艺中前段FEOL多晶硅/氧化硅层剥离去除，和后段BEOL金属层剥离去除 �Ｄ芄慌渲枚懒⒌亩嘀只б合村∕CR）�？�，按分歧的工艺组合在该�？橹兴炒问褂枚嘀窒村┮�，如SC1、SC2、DHF、DIO3、DIW等 。洗濯成效好，预防交叉传染，成本低 。Ultra C wb槽式湿法洗濯设备有效利用化学药液和去离子水（DIW），环境敦睦 。且凭借其精彩的�？榛杓�，占用空间幼的利益，能够在出产车间矫捷配置 。
