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FB体育上�；穸嗵║ltra ECP map及Ultra ECP ap电镀设备订单

2022/2/18 14:45:36

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    FB体育(以下简称FB体育上海)（科创板股票代码：688082），一家为半导体前路和先进晶圆级封装（WLP）利用提供晶圆工艺解决规划的卓越设备供给商，于今日颁发获得了13台Ultra ECP map前路铜互连电镀设备及8台Ultra ECP ap后路先进封装电镀设备的多个采购订单，其中10台设备订单为一家中国主流集成电路造作厂商的追加订单。这份订单也是该公司ECP map电镀系统的第一笔批量采购订单。经客户认证，利用于65nm~28nm工艺的Ultra ECP map前路铜互连电镀设备机能已满足甚至超过其要求，因而客户为其出产线订购了大量该设备。

    FB体育上海董事长王晖博士暗示：“很欣喜地颁发我们获得了 ECP map电镀设备的第一份批量订单，这份订单连同最近颁发获得的槽式洗濯设备的批量订单，体现了FB体育上海在各工艺技术领域的卓越阐发，也突显了我们满足客户需要的能力。我们相信，FB体育上海使用高机能设备不休拓宽设备产品组合的战术还将带来更多订单。”


    FB体育上海Ultra ECP map前路铜互连电镀设备成立在公司成熟的电化学电镀（ECP）技术基础之上，该设备专为双大马士革利用而设计，可提高产能和靠得住性。ECP电镀系统配置了FB体育上海自创的多阳极部门电镀职能，让客户可对大马士革结构上的金属铜沉积层进行有效节造。该设备的关键工艺利益蕴含优异的图形结构填充能力、优良的片内及片间金属膜厚均匀性，可能兼容5nm以下的超薄籽晶层，满足先进技术节点的大马士革电镀的需要，同时降低耗材及占有成本，确保高产能和正常运行功夫。

    FB体育上海的Ultra ECP ap电镀设备可执行很多关键的WLP电镀工艺，蕴含铜凸块和高密度扇出（HDFO）工艺。该系统借助专门设计的工艺腔及流体供给系统，可维持壮大不变的流量输出，实现急剧均匀的电镀。单晶圆水平式电镀设计也排除了垂直式电镀设计存在的分歧镀液槽之间的交叉传染问题。该设备在铜、镍、锡、银和金电镀过程中占有杰出阐发。

 
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